產(chǎn)品中心
文章詳情
分子束外延系統(tǒng)的作用與分類
日期：2025-04-22 15:17
瀏覽次數(shù)：1419
摘要：
分子束外延系統(tǒng)是半導體、光伏新材料、科學研發(fā)領域重要設備之一，近年來，隨著半導體、新材料等行業(yè)發(fā)展，分子束外延系統(tǒng)市場需求不斷釋放。
分子束外延系統(tǒng)是一種用于物理學、化學、材料科學領域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長技術(shù)，是在超高真空環(huán)境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發(fā)生反應的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強度易控制、襯底溫度低、膜層生長速率慢、可實現(xiàn)選擇性外延生長等優(yōu)勢。
根據(jù)類型不同，分子束外延系統(tǒng)可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統(tǒng)是市場主流產(chǎn)品，市場占比超過七成。激光分子束外延系統(tǒng)是基于傳統(tǒng)的分子束外延系統(tǒng)和脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）發(fā)展起來的，其屬于**薄膜制備設備，未來應用前景更廣闊。
分子束外延系統(tǒng)是一種用于物理學、化學、材料科學領域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長技術(shù)，是在超高真空環(huán)境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發(fā)生反應的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強度易控制、襯底溫度低、膜層生長速率慢、可實現(xiàn)選擇性外延生長等優(yōu)勢。
根據(jù)類型不同，分子束外延系統(tǒng)可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統(tǒng)是市場主流產(chǎn)品，市場占比超過七成。激光分子束外延系統(tǒng)是基于傳統(tǒng)的分子束外延系統(tǒng)和脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）發(fā)展起來的，其屬于**薄膜制備設備，未來應用前景更廣闊。